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集成产物包罗立式炉,产物包罗大气机械手、实空机械手系列、实空传输平台,可以或许为世界各地的目前:(1)两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂,四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越,机能对标国外先辈产物。(4)零部件方面,新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物。
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